فيزيك حالت جامد بزرگترین مرجع مقالات و مطالب رایگان

شبکه کریستالی (Crystal Lattice) یا شبکه فضایی(Space Lattice)


شبکه کریستالی (Crystal Lattice) یا شبکه فضایی(Space Lattice):
در کریستالوگرافی تنها خواص هندسی کریستال مورد توجه قرار می‌گیرند، بنابراین محل هر اتم یا مولکول با یک نقطه هندسی در محل تعادلی آن اتم یا مولکول نشان داده می‌شود. شبکه کریستالی دسته نامحدودی از نقاط در فضا است که در مکان‌های مشخص به شکل تناوبی تکرار می شوند. با قرار دادن یک اتم، گروههایی از اتمها یا مولکولها در نقاط شبکه کریستالی، یک ساختار کریستالی به دست می آید. به هر اتم، گروه اتمی یا مولکولی که در نقاط دیگر تکرار می شود پایه (Basis) اطلاق می گردد. شبکه(Lattice) نیز دسته‌ای از نقاط در فضا است که هر نقطه محیط متشابهی دارد. ساده ترین واحد کریستال همانطور که بیان شد، سلول واحد نامیده می شود. فضا از تکرار سلولهای واحد پر می شود و شبکه را پدید می‌آورد.
شبکه‌های کریستالی به دو دسته معروف شبکه‌های براوه و شبکه‌های غیر براوه تقسیم می‌شوند. در شبکه‌های براوه همه اتمها از یک نوع و همه نقاط شبکه معادل هم هستند. اما در شبکه‌های غیر براوه چند نوع اتم قرار دارد و برخی مکان‌های شبکه با هم متمایزند. در واقع شبکه‌های غیر براوه تلفیق دو یا چند شبکه براوه هستند.
 
یک شبکه فضایی مجموعه ای از نقاط با فواصل برابر است که هر نقطه از شبکه را می توان با یک بردار مشخص کرد. در این رابطه n2، n1 و n3 عددهای صحیح و b،a و c بردارهای یکه در سه جهت می‌باشد. شکل 5 بردار نقطه P را در یک سلول واحد نشان می‌دهد.

Rn = n1a + n2b+ n3C

filereader.php?p1=main_74ce2e1a498f2fa27
شکل 5- بردار نقطه P را در یک سلول واحد [2]
 
با بررسی مواد در حالت دو بعدی 5 نوع شبکه براوه قابل تعریف است. شکل 6 سلول‌های واحد این پنج شبکه کریستالی دو بعدی را نشان می‌دهد.

filereader.php?p1=main_64e4cda19b3f3ea4a
شکل 6- سلول‌های واحد پنج شبکه کریستالی دو بعدی [3]
 
جهت بررسی دقیق‌تر باید کریستال را به صورت سه بعدی آنالیز کرد. شکل 7 سلول‌های واحد هفت نوع شبکه کریستالی در حالت سه‌بعدی را نشان می‌دهد. مشخصات هر شبکه همراه با نام آن‌ها در شکل آورده شده است. این شبکه‌ها شامل شبکه‌های مکعبی، شش‌گوشه، مکعب مستطیلی، رومبوهرال، ارترومبیک، مونوکلینیک و تریکلینیک می‌باشند. برخی از این شبکه‌ها نیز خود به چند دسته تقسیم می‌شوند و در مجموع 14 شبکه براوه سه بعدی در این هفت سیستم کریستالی وجود دارد. شکل 8 این چهارده شبکه براوه را نشان می‌دهد. به دلیل سادگی و اهمیت بالاتر شبکه مکعبی و شش‌گوشه (هگزاگونال) در ادامه بیشتر به بحث در مورد این شبکه‌ها می‌پردازیم.

filereader.php?p1=main_6c664eeed34d9c29a
شکل 7- سلول‌های واحد شبکه کریستالی در حالت سه‌بعدی [2]
 
filereader.php?p1=main_581c3010417303e1e
شکل 8- چهارده شبکه براوه[1]
 
پیش از بررسی شبکه‌های براوه نیاز به تعریف چند پارامتر در کریستالوگرافی است.

الف) پارامتر شبکه(Lattice Parameter)
اطلاعاتی از سلول واحد که به واسطه آن‌ها بتوان اندازه، ابعاد و شکل سلول واحد را مشخص نمود. در شبکه‌های مکعبی طول یال سلول واحد و زاویه بین یال‌ها (که 90 درجه است) پارامتر شبکه‌ای نامیده می‌شود. همچنین به یال یا اضلاع هر سلول واحد ثابت شبکه هم اطلاق می‌شود. اندازه ثابت شبکه نیز بر اساس انگستروم یا نانومتر بیان می‌شود و زاویه بین یال‌ها بر حسب زاویه بیان می‌شود. در سلول واحد هگزاگونال به دلیل تفاوت در فاصله بین اتم‌ها در سطح مقطع و ارتفاع آن، ثابت شبکه با دو پارامتر a و c بیان می‌شود. شکل 7 تصویر سلول‌های واحد شبکه کریستالی را همراه با ثوابت شبکه آن‌ها نشان می‌دهد.
 
ب) فاکتور فشردگی اتمها( Packing Factor )
میزان پرشدن فضای شبکه توسط اتم‌ها، یا حجم اتمهای داخل سلول واحد تقسیم بر حجم کل سلول واحد، را فاکتور فشردگی اتمها می‌نامند.

filereader.php?p1=main_cd3dc8b6cffb41e41

ج) عدد همسایگی(Coordination Number )
نزدیکترین نقاط شبکه براوه به یک نقطه خاص عدد کوردینانسی را مشخص می کنند. چون شبکه براوه تناوبی تکرار می شود، همه نقاط تعداد یکسانی نقاط همسایه یا عدد کوردینانسی دارند که این خاصیتی از شبکه است.
د) تسلسل چیدن (Stacking Sequence)
شبکه کریستالی از روی هم قرار گرفتن تعدادی زیادی صفحات اتمی تشکیل شده است که نحوه قرار گرفتن این لایه‌ها روی هم را تسلسل چیدن می‌گویند.

 

انتشار : ۱۳ آبان ۱۳۹۴

پتانسیل های کاهشی استاندارد


پتانسیل های کاهشی استاندارد

برای استانداردسازی تمایل نسبی کاهندگی و اکسندگی فلزات مختلف نسبت به هم و نسبت دادن یک عدد مشخص به پتانسیل هر الکترود، از روش زیر استفاده می‌شود. در این روش پتانسیل نیم سلولی که الکترود آن از جنس هیدروژن باشد، برابر با صفر در نظر گرفته می‌شود (در مقاله قبل نیم سلول مس و روی معرفی شد). بدین ترتیب هر نیم سلول دیگر با الکترود مخصوص به خود که در یک مدار الکتریکی با نیم سلول هیدروژن قرار بگیرد، سلولی الکتروشیمیایی تشکیل می‌دهد. با توجه به اینکه پتانسیل الکترود هیدروژن صفر در نظر گرفته می‌شود، عدد اختلاف پتانسیل اندازه‌گیری شده در این سلول، پتانسیل الکترود مورد نظر است. الکترود استاندارد هیدروژن را با SHE )Saturated Hydrogen Electrode)نشان می‌دهیم. شاید این سوال مطرح باشد که هیدروژن در دمای اتاق حالت گازی دارد و ساخت الکترودی از آن عملا غیر ممکن است. بدین جهت از یک فلز که تقریبا در محیط‌های مختلف خنثی بوده و واکنش‌پذیری کمی از خود نشان می‌دهد، استفاده می‌شود. پلاتین برای این منظور یک گزینه بسیار مناسب است. روش کار بدین ترتیب است که گاز هیدروژن در محلول اسیدی حاوی یون‌های+ H روی سطح پلاتین دمیده می‌شود. در حقیقت سطح پلاتین محلی برای کاهش یا اکسایش هیدروژن خواهد بود.

filereader.php?p1=main_c4ca4238a0b923820
شکل1: استفاده از الکترود استاندارد هیدروژن (با استفاده از سیم پلاتینی که داخل یک لوله فلزی قرار داده شده) برای تعیین تمایل اکسایش یا کاهش فلز روی نسبت به فلزات دیگر.

در الکترود استاندارد هیدروژن می‌توان نوشت:
filereader.php?p1=main_44a50f07b4bdc5774
همانطور که مشاهده می‌شود پتانسیل این الکترود (E) را به صورت قراردادی برابر 0.00 ولت در نظر می‌گیریم.
به پتانسیل نسبی هر فلز نسبت به پتانسیل استاندارد هیدروژن، پتانسیل کاهشی استاندارد آن فلز می‌گوییم. در صورت مرتب کردن فلزها به ترتیب افزایش این پتانسیل کاهشی استاندارد، یک سری الکتروشیمیایی به دست می‌آید. این سری الکتروشیمیایی اطلاعات سودمندی از واکنش‌پذیری فلزها و مقایسه آن‌ها با یکدیگر فراهم می‌آورد. اگر E سلول محاسبه شود (E سلول برابر است با تفاضل پتانسیل الکترود اول و دوم) و این مقدار مثبت باشد، واکنش از سمت الکترودی که پتانسیل کمتری دارد به سمت الکترودی که پتانسیل بیشتری دارد، انجام پذیر خواهد بود. یعنی اگر پتانسیل الکترودی بیشتر باشد، الکترون به سمت آن می رود و برای واکنش اکسید شدن مصرف می شود. جدول 1 پتانسیل‌های کاهشی استاندارد را نشان می‌دهد (کتاب شیمی دوره پیش دانشگاهی).

جدول1: برخی از پتانسیل‌های کاهشی استاندارد
filereader.php?p1=main_c812513f0037ce54f

تا اینجا به واکنش‌های اکسایش-کاهش که پایه اصلی فرآیندهای الکتروشیمیایی را تشکیل می‌دهند، پرداخته شد. در ادامه این مقاله به برخی از موضوعات که در صنایع مختلف وجود دارند و برای مطالعه آن‌ها نیاز به دانش الکتروشیمی است، می‌پردازیم.

انتشار : ۱۳ آبان ۱۳۹۴

آشنایی با عملکرد میکروسکوپ نیروی اتمی


آشنایی با عملکرد میکروسکوپ نیروی اتمی

شرکت در آزمون
میکروسکوپ نیروی اتمی(AFM)، دستگاهی است که برای مطالعه ی غیرمستقیم سطح اتم ها کاربرد دارد. این میکروسکوپ، با حرکت دادن یک پیمایشگر (probe) بر روی سطح ماده ، نیروی مکانیکی بین کاوشگر و ماده را محاسبه می کند و از این داده ها برای نشان دادن تصویر سطح اتم در رایانه استفاده می کند.
تلاش برای دیدنِ سطوح بسیار نازک‌، از مهم‌ترین فعالیت‌های علمیِ آزمایشگاه‌های جهان است. این کار، بسیار مشکل و معمولاً غیراقتصادی است. کدام کار؟ دیدنِ مستقیم سطوح بسیار نازک مانند سطح کف دریا یا سطح اتم. روش معمول برای دیدن چنین سطوحی غیرمستقیم است؛ یعنی جمع‌آوری داده‌های دقیق و پردازش آنها توسط رایانه‌ها و تبدیلشان به تصاویرِ دیدنی. در مقاله‌ای که می‌خوانید، شما را با چگونگی کسب اطلاعات از سطوح نادیدنی و تبدیل آنها به مدل‌های دوبُعدی و سه‌بُعدی آشنا می‌کنیم. این همان کاری است کهمیکروسکوپ نیروی اتمیانجام می‌دهد.
شبیه‌سازی کف دریا که با استفاده از داده‌ها صورت می‌گیرد، مدت‌هاست که در تحقیقات و مطالعات اقیانوس‌شناسی به کار می‌رود. اقیانوس‌شناسانِ اولیه به انتهای کابل‌های بلند وزنه‌هایی می‌آویختند و ته دریا می‌‌فرستادند. این وزنه‌ها کف دریا را می‌پیمودند و ناهمواری‌ها و شیارهای آن را از طریق کابل‌ها روی کاغذهای شطرنجی نقش می‌کردند.
امروزه در فارسی ، به این قبیل وسایل که می‌توانند اطلاعاتی را از سطوح نادیدنی به ما برسانند، ‌«پیمایشگر‌» می‌گویند. این عنوان معادل واژه ی probe در انگلیسی است.
اقیانوس‌شناسان جدید، کابل و وزنه را به کناری نهاده‌اند و فناوری رادار را به خدمت گرفته‌اند. آنها امواج صوتی را از یک کشتی اقیانوس‌پیما به کف دریا گسیل می‌کنند و با ثبت فاصلة کف با منبع گسیل‌کننده، ناهمواری‌های کف را ترسیم می‌نمایند.
ماهواره‌ها هم به همین روش می‌توانند امواجی را به اعماق ناشناختة فضا بفرستند و با محاسبة زمان رفت و برگشت، فواصل را اندازه بگیرند.
در میکروسکوپ نیروی اتمی نیز از این روشِ دیدن استفاده می‌شود.AFM ،پیمایشگری را روی سطح ماده حرکت می‌دهد. همزمان با حرکت این پیمایشگر بر سطح ماده، نیروی مکانیکی بین کاوشگر و ماده محاسبه می‌شود. این داده‌ها برای به تصویر کشیدن سطح اتم در رایانه مورد استفاده قرار می‌گیرند.

filereader.php?p1=main_daa8f13c9d65da091


در اینجا آزمایشی را به شما معرفی می‌کنیم که شما را با رفتار یک میکروسکوپ نیروی اتمی آشنا می‌کند. با این آزمایش می‌توانید بدون دیدنِ مستقیم، داده‌هایی را از درون یک جعبة دربسته استخراج کنید و با استفاده از آنها تصاویری دو و سه‌بُعدی از سطح درونی آن ترسیم نمایید.

filereader.php?p1=main_daa8f13c9d65da091

یک جعبه کفشِ خالی را بردارید و از دوستتان بخواهید که یک وسیلة مجهول درون جعبه درست وسط آن بچسباند و در آن را هم محکم ببندد. حالا کاغذی شطرنجی، مانند تصویر زیر، روی آن بچسبانید. (اگر چاپگر دارید، روی تصویر کلیک کنید و نسخة با کیفیت بالاتر را دانلود کنید و از آن پرینت بگیرید.)

filereader.php?p1=main_dfc0e642be3044e9f

سپس با یک میل بافتنی صفحه را سوراخ سوراخ کنید و با کمک همان میل بافتنی ارتفاع شیء مجهول از کفِ جعبه را در نقاط مختلف اندازه بگیرید. حواستان را جمع کنید که فقط ارتفاع میلة بافتنیِ فرورفته داخل جعبه را اندازه نگیرید، بلکه ارتفاع جعبه را هم محاسبه کنید. مثلاً اگر ارتفاع جعبه 14 سانتی‌متر است و میل بافتنی در آن نقطه 7.5 سانتیمتر فرو رفته است. باید 7.5 را از 14 کم کنید تا ارتفاع شیء مجهول از کف جعبه به دست آید.

filereader.php?p1=main_dfc0e642be3044e9f

پس از اینکه ارتفاع‌های نقاط مختلف را اندازه گرفتید، کافی است تااین فایلرا دانلود کنید و به کمک آن حدس بزنید داخل جعبه چه چیزی وجود دارد. خوب، چطور این حدس را زدید؟ درست است: به کمک شکلی که از سطح شیء مجهول به دست آورده ‌اید.
فایلی که برای این کار در اختیار شما قرار داده شده، یک صفحة گسترده است که توسط نرم‌افزار Excel طراحی شده است و شما هم می‌توانید مشابه آن را تولید کنید.

filereader.php?p1=main_628aadbeabbe1c09e


شکل بالا نتیجه انجام آزمایش جعبه دربسته برای یک جسم هرم مانند است.
جدول 15×15 بالای صفحه در واقع همان کاغذ مشبکی است که شما روی جعبه چسبانده‌اید. حالا کافی است که ارتفاع شیء مجهول را در هر نقطه به کمک میل بافتنی اندازه بگیرید و آن را در خانة متناظر آن در فایل Excel ذخیره کنید. همانطور که اعداد وارد برنامه می‌شوند، نقشة سطحِ شیء مجهول که اصطلاحاً به آن «نقشة توپوگرافی» می‌گویند، کامل‌تر می شود.

 

انتشار : ۱۳ آبان ۱۳۹۴

انرژی سطحی


انرژی سطحی
بر اساس تعریف، انرژی سطحی که آن را با حرف یونانی γ (گاماGamma -) نشان می‌دهیم، برابر است با میزانی از انرژی که برای ایجاد سطح جدیدی به اندازه‏ واحد اندازه‌گیری لازم است. برای مثال، می‌توانیم برش دادن یک مکعب مستطیل و تبدیل آن به دو مکعب مستطیل دیگر را در نظر بگیریم (شکل 1).

filereader.php?p1=main_c4ca4238a0b923820


شکل 1- برای بریدن یک مکعبمستطیل و تبدیل آن به مکعب‌های کوچک‌تر باید بر پیوندهای بین اتم‌های موجود در دوسمت صفحه‏ برش غلبه نمود. در این فرآیند دو سطح جدید در ماده ایجاد می‌شود که دراین شکل با رنگ تیره مشخص شده‌اند.

با توجه به تعریف ارائه شده، تلاش می‌کنیم تا به مدلی برای توصیف و محاسبه‏ انرژی سطحی دست یابیم. برای اینکار، باید بر تمام پیوندهای موجود در یک سطح غلبه کنیم و آنها را از میان ببریم. پس مقدار این انرژی برابر می‌شود با حاصل‌ضرب تعداد کل پیوندهای موجود روی سطح (Nt) درمقدار انرژی لازم برای غلبه بر هر پیوند (انرژی پیوند یاε).

E=Nt.ε

تعدادکل پیوندها را می‌توان از حاصل‏ضرب تعداد اتم‌های موجود در سطح مورد نظر(Na) ، درتعداد پیوندهایی که هر اتم بر اثر ایجاد سطح جدید از دست می‌دهد(Nb) ، محاسبه نمود. در این نام‌گذاری، b مخفف broken به معنای «شکسته شده» است و بر شکسته شدن پیوندهابر اثر ایجاد سطح جدید دلالت دارد.

Nt=Na.Nb

از آنجایی‏که بر اساس تعریف،انرژی سطحی یک ماده، برای واحد سطح ماده تعریف می‌شود، بنابراین باید انرژی محاسبه شده را بر سطح مورد نظر (A) تقسیم نمود. (γ=E/A) اما باید توجه داشت که با برش دادن این قطعه مکعب مستطیلی، دو سطح جدید و هر یک به مساحت A ایجاد می‏شود (شکل 1). بنابراین داریم:

γ=E/2A=Na.Nb.ε/2A

از طرفی بر اساس تعریف، می‌توان تعداد اتم‌ها بر واحد سطح را برابر با چگالی سطحی اتمی (ρa=Na/A) در نظر گرفت.

γ=Nb.ε.ρa/2

در این رابطه γ دارای واحد انرژی بر واحد سطح یا ژول برسانتی‌متر مربع (J/cm2) است. این رابطه مدلی بسیار ساده شده از انرژی سطحی را ارائهمی‌دهد. در این مدل فرض شده است که فواصل و آرایش اتمی و هم‏چنین مقدار ε در سطح، تفاوتی با حجم ماده ندارد (همان‏طور که در ادامه‏ این مقالات خواهیم دید، این موضوع درست نیست و اتم‌های سطحی حتی می‌توانند آرایش متفاوتی را نسبت به اتم‌های درون حجم ماده به خود بگیرند). بنابراین نمی‌توان این مدل را با اطمینان در تمام موارد به کار برد. اما این مدل می‌تواند درک خوبی از مقدار انرژی سطحی و عوامل موثر بر آن رادر اختیار ما قرار دهد.
برای درک دقیق‌تر این موضوع، مناسب است که انرژی سطحی صفحات مختلف بلوری را محاسبه نماییم تا با پارامترهای این محاسبه و ماهیت دقیق‌ترآنها آشنا شویم. برای این منظور صفحه‏ (100) را در یک شبکه‏ بلوری با ساختار FCC در نظر بگیرید (شکل 2).


filereader.php?p1=main_5d7c2b5dd5ea600ee


شکل 2- صفحه‏ (100) در یکبلور مکعبی FCC، در این تصویر اتم مرکزی این صفحه به شکل توپر و نزدیک‌ترینهمسایگان آن با کشیدن زیرخط نمایش داده شده‌اند.

همان‏گونه که از قبل می‌دانید، عدد همسایگی هر اتم در ساختار FCC برابر با 12 است. در این تصویر مشاهده می‌شود که اتم مشخص شده در روی صفحه‏ (100)، تنها 8 اتم همسایه را در کنار خود می‌بیند. این اتم‌ها در شکل 2 با زیرخط نمایش داده شده‏اند. بنابراین، این اتم که بر روی سطح واقع شده است، به تعداد 4 همسایه‏ خود را از دست داده است، بنابراین مقدارNb برای آنبرابر با 4 است. این صفحه‏ اتمی در مساحتی معادل با a2(که a همان پارامتر شبکه است) یا همان سطح رنگی شده در شکل 2، دارای یک اتم کامل در وسط و چهار ربع اتم درچهار کنج، و در نتیجه در مجموع دارای دو اتم کامل است. پسρa (چگالی اتمی صفحه‌ای) برای این صفحه‏ اتمی برابر با 2/ 2 aاست. بنابراین خواهیم داشت:

پرسش 11: در محاسبه ‏بالا، مقدار γ را، بر حسب a(پارامتر شبکه) و ε(انرژی پیوند) به دست آوردیم. اکنون برای رسیدن به یک عدد مشخص، چگونه باید این دو پارامتر را به دست آوریم؟

بنابراین در محاسبه‏ مقدارانرژی سطحی، علاوه بر دانستن چگالی اتمی صفحه‌ای، باید بتوانیم تعداد اتم‌های جدا شده از اطراف هر اتم در آن صفحه‏ مورد نظر را بشماریم. از این رو باید در ابتدا عدد همسایگی شبکه‏ مورد بررسی را بدانیم.

پرسش 12: به عنوان تمرین، انرژی سطحی صفحه‏ (0 1 1) را در ساختار بلوری FCC محاسبه نمایید. پارامترشبکه را a و انرژی پیوند را برابر با ε در نظر بگیرید.

پرسش 13: آیا با زیاد شدن مجموع مربع‌های اندیس‌های صفحه‏ بلوری در یک شبکه‏ مکعبی، مقدار انرژی سطحی آندر یک روند خاص تغییر می‌کند؟ اگر پاسخ شما مثبت است، این روند رابیابید.


در مقاله‏ بعدی با استفاده ازمفهوم انرژی سطحی، به تبیین برخی رفتارهای سطحی مواد جامد خواهیم پرداخت و شناخت بهتری از اتم‌های سطحی مواد پیدا خواهیم نمود.

انتشار : ۱۱ آبان ۱۳۹۴

کاشت یونی


کاشت یونی
در بسیاری از مراحل ساخت، باید آلاینده‌ها (همان ناخالصی‌هایی که به دلیل تغییر خواص نیمه‌رسانا به آن اضافه می‌کنیم) به طور انتخابی وارد ویفر شوند. برای مثال، بعد از تکمیل زنجیره‌ لیتوگرافی در شکل (1)، چاه n با افزودن آلاینده به ناحیه‌ی بدون پوشش تشکیل می‌شود. به طور مشابه نواحی سورس و درین ترانزیستورها نیز نیاز به افزودن انتخابی آلاینده به ویفر دارند.

filereader.php?p1=main_daa8f13c9d65da091

 

filereader.php?p1=main_dfc0e642be3044e9f
شکل (1)
رایج‌ترین روش افزودن آلاینده روش «کاشت یونی» است که به وسیله‌ی آن اتم‌های آلاینده به صورت یک پرتوی متمرکزِ پر انرژی شتاب داده می‌شود و به سطح ویفر برخورد کرده و در نواحی بدون پوشش نفوذ می‌کند. (شکل 2 را ببینید) میزان آلایش با شدت و طول عملیات کاشت معین می‌شود و عمق ناحیه‌ی آلاییده با انرژی پرتو تنظیم می‌شود

filereader.php?p1=main_d08dcfcbe5a8fce52
شکل(2)
کاشت یونی باعث تخریب قابل ملاحظه‌ی شبکه‌بلوری سیلیکون می‌شود. به همین دلیل، ویفر بعد از این فرآیند باید به مدت 15 تا 30 دقیقه تا دمای تقریبی 1000 درجه سانتی‌گراد گرم شود تا اجازه دهد که پیوندهای شبکه دوباره شکل بگیرند. این عملیات، تابکاری نامیده می‌شود.
تابکاری ویفر یک بار و آن هم بعد از آن که همه‌ی نواحی کاشته شدند انجام می‌شود. یک پدیده‌ی جالب در کاشت یونی، کانال زدن است. همان طور که در شکل 3- الف نشان داده شده است، اگر جهت پرتوی کاشت با محور کریستال در یک جهت باشد، یون‌ها تا عمق بسیار زیادی در داخل ویفر نفوذ می‌کنند. برای همین منظور دستگاه تابنده‌ی پرتو (یا ویفر) را به اندازه‌ی 7 تا 9 درجه کج می‌کنند. (شکل 3- ب را ببینید.)

filereader.php?p1=main_3e61ea5e7b685bb33

انتشار : ۱۱ آبان ۱۳۹۴

تمام حقوق مادی و معنوی این وب سایت متعلق به "" می باشد

فید خبر خوان    نقشه سایت    تماس با ما